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工业废气处理项目
工程概述:
某电子有限公司在生产过程中,蚀刻、清洗工序会产生酸性废气,碱性蚀刻会产生碱性废气,不经处理会污染大气环境,对人体产生危害。拟建一套废气处理系统解决上述问题。
介质特点:
该废气含有多种危害较大的气体,如HCl、HF、NOx、NH3等。
项目成果:
经处理后的废气满足《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表3排放限值。
处理工艺